無塵車間潔凈室高效過濾器的檢漏說明：
(使用儀器：檢漏儀和塵埃離子計數(shù)器）
１、對于安裝于高效過濾器在無塵車間潔凈室送、排風末端的高效過濾器，應用掃描法進行過濾器安裝邊框和全斷面檢漏。掃描法有檢漏儀法（光度計法）和采樣量最小為１Ｌ/ｍｉｎ的粒子計數(shù)器法兩種。對于超高效過濾器，掃描法有凝結核計數(shù)器法和激光粒子計數(shù)器法兩種。
２、無塵車間潔凈室高效過濾器檢漏儀法檢漏
（１）被檢漏過濾器必須已測過風量，在設計風速的80％～120％之間運行。
（２）在同一送風面上安有多臺過濾器時，在結構上允許的情況下，宜用每次只暴露1臺過濾器的方法進行測定。
（３）當幾臺或全部過濾器必須同時暴露在氣溶膠中時，為了對所有過濾器造成均勻混合，宜在風機吸入端或這些過濾器前方支干管中引入檢漏用氣溶膠，立即在受檢過濾器的正前方測定上風側濃度。
（４）對于高效過濾器，當檢漏儀表為對數(shù)刻度時，上風側氣溶膠濃度應超過儀表最小刻度的104倍；當檢漏儀表為線性刻度時，上風側氣溶膠濃度需達到80～100μｇ/Ｌ。檢漏儀表應具有0.001～100μｇ/Ｌ的測量范圍。
３、無塵車間潔凈室高效過濾器粒子計數(shù)器法檢漏
（１）被檢過濾器必須已測過風量，在設計風速的80％～120％之間運行。
（２）在被檢高效過濾器上風側測定大氣塵的微粒數(shù)，以大于或等于0.5μｍ微粒為準，其濃度必須大于或等于3.5×104粒/Ｌ；若檢測超高效過濾器，則以大于或等于0.1μｍ微粒為準，其濃度必須大于或等于3.5×106～3.5×107粒/Ｌ。
（３）若上風側濃度不符合上項規(guī)定，則應引入不經(jīng)過濾的空氣，如果還達不到規(guī)定，則不宜用粒子計數(shù)器法和凝結核計數(shù)器法檢漏。檢漏時將采樣口放在距離被檢過濾器表面2～3ｃｍ處，以5～20ｍｍ/ｓ的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封頭膠和安裝框架處進行掃描。
